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什么是干膜曝光时间宽容度?

来源: 发布时间:2022-04-15 4335 次浏览

什么是干膜曝光时间宽容度?

答:干膜曝光一段时间后,经显影、光致抗蚀层已全部或大部聚合,一般来说所形成的图形可以使用,该时间称为最小曝光时间。将曝光时间继续加长,使光致抗蚀剂聚合得理彻底,且经显影后得到的图形尺寸仍与菲林底片尺寸相符,该时间称为更大 曝光时间。通常干膜的更佳 曝光时间选择在最小最小曝光时间与更大 曝光时间之间。更大 曝光时间与最小曝光时间之比称为曝光时间宽容度。