线路哪些原因会造成电镀时产生渗镀?
答:1、干膜性能不良,超过有效期使用;2、基板表面清洁不干净或粗化表面不良,干膜粘附不良;3、贴膜温度低,传送速度快,干膜贴得不牢;4、曝光能量过高导致抗蚀性发脆;5、曝光能量不足显影速度过慢造成抗蚀剂发毛边缘起翘;6、电镀前处理药液温度过高等。
来源: 发布时间:2022-04-15 3596 次浏览
线路哪些原因会造成电镀时产生渗镀?
答:1、干膜性能不良,超过有效期使用;2、基板表面清洁不干净或粗化表面不良,干膜粘附不良;3、贴膜温度低,传送速度快,干膜贴得不牢;4、曝光能量过高导致抗蚀性发脆;5、曝光能量不足显影速度过慢造成抗蚀剂发毛边缘起翘;6、电镀前处理药液温度过高等。
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